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麥克項目案例 | 麥克傳感助力半導(dǎo)體等離子水清潔壓力監(jiān)測

作者 : 麥克傳感器股份有限公司

半導(dǎo)體是指在某些情況下能夠?qū)娏鳎谀承l件下,又具有絕緣體效用的物質(zhì),在工業(yè)生產(chǎn)中有著非常重要的作用。在半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)過程中,幾乎每道工序都需要用到清洗,這就衍生出等離子半導(dǎo)體洗滌這一產(chǎn)業(yè),該系統(tǒng)生產(chǎn)廠家主要分布于日韓、中國、德國、美國。

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等離子水清洗的原理是什么?

離子清洗中的“原料”是工藝氣體,需要實現(xiàn)氣體壓力的穩(wěn)定和大小可調(diào),所以要在等離子清洗系統(tǒng)的相關(guān)氣路,或氣路的元器件,加裝特制的壓力變送器用以監(jiān)測并反饋相關(guān)信號。

在等離子體半導(dǎo)體洗滌系統(tǒng)運行過程中,需要高頻電源激發(fā)工藝氣體以產(chǎn)生等離子體,而此過程中會有很強的電磁場,這對電子元器件的EMC性能提出了非常高的要求。

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另外,完成清洗產(chǎn)生的廢氣中,會伴隨著二次化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生細(xì)小的顆粒,對變送器的壓力接口結(jié)構(gòu)也有特殊要求。

還有一些其他特性都會影響壓力變送器的測量和穩(wěn)定信號輸出,常規(guī)傳感器在這個應(yīng)用中,輸出信號會受到干擾而產(chǎn)生大的波動。 

麥克傳感為等離子水清洗行業(yè)提供什么設(shè)備?

麥克傳感器的定制壓力變送器產(chǎn)品——M20壓力變送器,通過針對應(yīng)用環(huán)境的機械設(shè)計和電路設(shè)計升級,可以匹配應(yīng)用場景,為客戶提供更準(zhǔn)確、穩(wěn)定的壓力測量。

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  • 量程范圍:0kPa ~ 25kPa 至 0MPa ~ 40MPa;

  • 高性能高性價比;

  • 適用于通用工業(yè);

  • 全焊接、適配透氣膜;

  • 全數(shù)字溫度補償和校準(zhǔn);

  • 具備多方國際認(rèn)證。

未來,麥克傳感將繼續(xù)為不同領(lǐng)域的客戶提供專業(yè)設(shè)備以及定制化監(jiān)測解決方案。

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